PI-用于晶圆切片的高精度激光加工
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PI-用于晶圆切片的高精度激光加工
所属企业：普爱纳米位移技术（上海）有限公司视频类型：产品视频
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cMT X Series | SPEEDY STABLE ...
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直接驱动带有空气轴承的线性和旋转平台，可实现极限精度;高直线度、平面度和重复精度;消除齿槽效应，实现平稳的速度控制;拖链电缆管理;在晶圆工作点提供计量;全天候以高占空比运行;绝对编码器消除了参考，同时提高了运行期间的效率和安全性。
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