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PI技术 I PiezoWalk®压电电机

时间:2021-12-20 17:17:28来源:普爱纳米位移技术(上海)有限公司

导语:​PiezoWalk®驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言,半导体产业是一个非常严苛的行业。2005年,PI的PiezoWalk®技术荣获SEMI技术创新奖。通过不断开发,此类驱动器目前衍生出了很多版本,可用于不同的应用领域。

  PiezoWalk®驱动器是十多年前为半导体产业开发的。就可靠性、位置分辨率和长期稳定性而言,半导体产业是一个非常严苛的行业。2005年,PI的PiezoWalk®技术荣获SEMI技术创新奖。通过不断开发,此类驱动器目前衍生出了很多版本,可用于不同的应用领域。

  ·不同转子长度导致不同行程

  ·分辨率达0.03纳米

  ·不工作时自锁,无热量产生

  ·无磁性和真空兼容工作原理

  ·三种技术:NEXLINE®、NEXACT®和PICMAWalk

  ·从OEM电机到多轴定位系统的集成度

驱动器

PiezoWalk® OEM驱动器紧凑强劲,左起分别为N-331、N-310、N-216

  步进驱动器的特点

  ·PICMAWalk:具有高续航力的平稳增量运动

  ·直接驱动原理

  ·PiezoWalk®驱动器可自锁

  ·使用寿命和可靠性

  ·应用领域

  ·恒定速度和平稳驱动

  ·开环1纳米运动

PICMAWalk:具有高续航力的平稳增量运动

  在经过超10 - 15千米的试运转阶段后,驱动器可实现特别稳定的步长。恒定的步长是驱动器的高负载能力和续航力的衡量指标。

驱动器

直接驱动原理

  压电陶瓷步进驱动器无需任何额外的机械耦合元件。压电陶瓷驱动器直接作用于动轮上,无其他影响精度和可靠性的运动部件。对比必需使用连接器和减速齿轮的电机主轴系统,这是一个优势。

驱动器

PiezoWalk®驱动器可自锁

  在压电促动器上相对于动轮施加预载可确保驱动器在静止状态下和关机时自锁,从而不消耗能量,不发热,保持位置的机械稳定性。低占空比的应用要求较高的时间和温度稳定性,能得益于这些特点。

使用寿命和可靠性

  压电陶瓷促动器的运动基于晶形效应,不会产生任何磨损。与其他压电电动机原理不同,压电陶瓷促动器与转子的耦合不受滑动摩擦作用的影响;进给是通过促动器的物理夹紧和提升实现的。PICMAWalk驱动器已通过100千米的连续带载运行证明了其耐久性(常压条件下的标准测试环境)。

应用领域

  PI压电电动机原理上具有真空兼容性,可适用于强磁场下的操作,为此,驱动器也有多种特殊版本。压电陶瓷步进驱动器还可用于有较强紫外线辐射的无尘室及其他环境中。

驱动器

恒定速度和平稳驱动

  NEXLINE®驱动器在纳米级步距模式下能达到最佳的恒定速度和平稳驱动,但由于NEXLINE®驱动器的1纳米开环运动,整步模式下可实现的最大速度更大。

驱动器

开环1纳米运动

  NEXLINE®驱动器开环1纳米运动的顺序。

驱动器

PICMAWalk:具有高续航力的平稳增量运动

  在经过超10 - 15千米的试运转阶段后,驱动器可实现特别稳定的步长。恒定的步长是驱动器的高负载能力和续航力的衡量指标。

三大技术实现更高灵活性

驱动器

PiezoWalk®步进驱动器涵盖各种不同的力和速度,这使得其能服务于多种应用

PICMAWalk

  PICMAWalk驱动器可实现高达50牛的进给力和高达60牛的保持力。最大速度为15毫米/秒。PICMAWalk采用久经考验的PICMA®多层压电陶瓷促动器,意味着压电电压低至120伏。PICMA®压电陶瓷促动器还可确保较长的使用寿命和PICMAWalk技术杰出的稳定性。

驱动器

NEXLINE®

  高负载步进驱动器将压电陶瓷夹紧和切变促动器相结合来移动一根杆。在几百牛的进给力下,此类驱动器具有极大的力和刚性。此类驱动器可以纳米级的分辨率在几微米的范围内动态补偿振荡,设计实现高达800牛的定位和夹持力,且可在较低速度下工作。

驱动器

NEXACT®

  精密步进驱动器通过压电陶瓷弯曲元件转换步进动作。这类驱动器更紧凑,可实现更高速度,产生10至20牛的力。压电陶瓷元件的恰当选择可为各应用优化步长、夹持力、速度和刚性。

驱动器

  PiezoWalk®直线电机的工作原理

  作为主要零件,此类压电陶瓷步进驱动器包含几个压电陶瓷促动器,其上施加预载抵住导向转子。这些压电陶瓷促动器运行时进行步进运动,将转子往前推进。压电陶瓷促动器可进行非常小的步进和进给运动,从而实现远小于1纳米的高运动分辨。

标签: 驱动器电机普爱纳米

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