MOCVD设备可被用于LED、功率器件等多个领域，是LED芯片生产过程中最为关键的设备，其工艺、技术极为复杂。本文 简要介绍了采用固高伺创GSHD系列伺服驱动器，配合磁流体电机的MOCVD设备控制系统。

文 / 固高伺创驱动技术（深圳）有限公司

     工业互联网革命以来，半导体成为了许多工业整机设备 的核心，普遍应用于计算机、消费电子、网络通信、汽车电 子等重点领域。MOCVD设备可被用于LED、功率器件等多 个领域，是LED芯片生产过程中最为关键的设备。
     MOCVD全称是Metal-Organic Chemical Vapour Deposition（金属有机化学气相沉积设备），是在基板上生 长半导体薄膜的一种技术。利用MOCVD技术，纳米层可以 以极高的精度在晶圆表面沉积，每一层都具有可控的厚度， 形成具有特定光学和电学特性的覆盖材料。MOCVD是用于 LED芯片和功率器件制造的关键工艺技术。经过近二十年的 持续发展，MOCVD成为了目前半导体化合物材料制备的关 键技术之一，被广泛应用于包括半导体器件、光学器件、气 敏元件、超导薄膜材料、铁电/铁磁薄膜、高介电材料等多 种薄膜材料的制备。
     国产化MOCVD设备采用固高伺创自主研发的GSHD系 列高性能伺服驱动器，配合国产磁流体电机，可实现对进口 设备的原位替换，并提升工艺控制的易用性与安全性。

1 MOCVD设备对控制系统的要求

    通过Modbus TCP 协议发送指令到驱动器，支持 MODBUS-TCP报文结构（由MBAP+PDU组成）。

• 事务标识符是报文的序列号，主要用于请求/响应匹 配，客户端每发送一次新请求会自动递增，服务器接收时会 把这个数据原封返回；

• 协议标识的固定值是Modbus-TCP标准协议标识的 0x0000；
• 长度是从单元标识符开始至报文结尾的字节数，单位 字节；
• 单元标识符为设备站号标识，用于多设备总线寻址， 驱动器配置方式是通过硬件拨码开关来设定。
②PDU（帧结构）如下：

2 MOCVD设备伺服控制系统技术方案

本系统采用固高伺创GSHD系列高性能伺服驱动器配合 磁流体电机，构成高性能运动控制解决方案，主要技术特点 如下：

• 高速通信性能：支持Modbus通讯协议，确保控制指 令的实时传输，采用Modbus TCP控制功能，实现高速数据 交互；
• 精密运动控制：磁流体DD马达高速运转时速度波动 ±0.5rpm，具备优化的加减速曲线算法，确保运动过程平稳；
• 安全控制功能：具备无急停配置下的智能停机功能，支 持通过数字I/O界面灵活配置停机模式（保持使能/下使能）；
• 系统优势明显：性能稳定可靠，综合性价比优异；
• 多种应用场景：MOCVD设备、MiniLED设备。