

ETEL VULCANO XYZ3T H QuiET堆叠平台
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产品介绍
VULCANO XYZ3T H QuiET堆叠平台
是由Vulcana XY系统和一个XYZ3T H多功能模块组成的高精度多轴系统,该平台也集成了QuiET主动避震系统。
产品亮点:
模块化设计,结构紧凑
纳米级的位置稳定性
高动态性能:2.5 g,1.5 m/s
运动和稳定时间短
兼容ISO 1级超净车间
±0.1°以上的摇摆和倾斜修正范围
带双Z轴,内置Z轴重力补偿
优异的Z轴直线度
更高Z轴重复精度和抖动性能
可修正工作台平面度
卡盘面带真空接口
产品性能:轴摇摆和倾斜粗大Z轴旋转轴

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