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VULCANO XYZ3T H QuiET堆叠平台

是由Vulcana XY系统和一个XYZ3T H多功能模块组成的高精度多轴系统，该平台也集成了QuiET主动避震系统。

产品亮点：

模块化设计，结构紧凑

纳米级的位置稳定性

高动态性能：2.5 g，1.5 m/s

运动和稳定时间短

兼容ISO 1级超净车间

±0.1°以上的摇摆和倾斜修正范围

带双Z轴，内置Z轴重力补偿

优异的Z轴直线度

更高Z轴重复精度和抖动性能

可修正工作台平面度

卡盘面带真空接口

产品性能：轴摇摆和倾斜粗大Z轴旋转轴