XY压电陶瓷平台

　　稳定运动，优异精度

　　需要纳米级超精密运动与长行程?

　　PIHera®XY位移平台将长行程范围与优异分辨率融合在紧凑型柔性铰链设计中。

　　高动态性能，助力高频应用实现高效生产

　　采用零游隙柔性铰链导向机构，确保优异精度与长期稳定性

　　热门型号快速交付，满足紧急项目需求

　　紧凑型定位系统，实现超精密运动与长期稳定性能

　　半导体、光子学及显微成像行业需要稳定可靠的高性能解决方案，以实现纳米级精密定位与对准。

　　Physik Instrumente(PI)公司的PIHera®XY压电陶瓷平台，在紧凑空间内将亚纳米级分辨率、高稳定性与灵活行程完美结合。精选型号支持快速交付，配套控制器同步供应。

　　超精密定位精度

　　基于高品质电容传感器，实现亚纳米级定位精度，兼具高重复性与优异稳定性。零游隙柔性铰链导向机构，实现高导向精度。

　　灵活应用 快速交付

　　P-621.2CD、P-622.2CD、P-625.2CD及P-628.2CD型号的XY压电陶瓷平台提供120µm至1000µm的行程范围，适应场景广泛。例如在半导体与光子学领域，这些平台可用于干涉测量(以对准激光系统或光学部件)或晶圆检测。XY位移平台也广泛应用于显微成像领域，实现样本与物体的纳米级精确定位与稳定。

　　交货周期短，可确保时效性项目的高效执行。

　　PIHera® XY位移平台：可变行程范围，实现纳米级精密定位与对准

　　PIHera® XY压电陶瓷平台常见问题

　　提问1:

　　哪些参数使PIHera®成为高分辨纳米级定位

　　的理想选择?

　　PIHera®压电陶瓷平台提供低至0.1nm的分辨率，定位精度可达0.02%。其高分辨率、亚纳米级精度、优异可靠性、长期稳定性与快速响应特性，使之成为严苛应用的理想解决方案。

　　提问2:

　　PIHera®压电陶瓷平台精选型号有哪些行程

　　范围可选?

　　PIHera®压电陶瓷平台精选型号提供120µm至1000µm的行程范围，而PIHera压电陶瓷平台全系列产品的行程范围覆盖50µm至1800µm，为广泛应用场景提供多样化选择。

　　提问3:

　　PIHera®压电陶瓷平台是否适用于严苛环境条件?

　　PIHera®压电陶瓷平台专为应对振动及温度波动等环境挑战而设计，适用于半导体、光子学、生物技术和质量检测等多领域应用。

　　提问4:

　　PIHera®压电陶瓷平台适用于哪些应用场景?

　　PIHera®压电陶瓷平台尤其适合需要超精密定位与高分辨率的高精度应用场景，如光纤定位、测试流程、干涉测量及显微成像等。

　　商标注册证‌：

　　PIHera® 注册号：第6533092号

　　PICMA® 注册号：第6533109号