亮相慕尼黑光博会
雅科贝思将亮相2023年慕尼黑光博会,届时,雅科贝思将展出激光微加工平台、气浮转台、气浮平台、高速龙门、振镜控制器等产品,诚邀各位莅临雅科贝思展位参观洽谈。
▶ 激光微加工平台
产品特点
☑ 高精密直线电机运动平台,
闭环光栅尺控制
☑ 振镜与平台同步控制
☑ 振镜实时补偿平台跟随误差,
实现高速高精度扫描
☑ 激光脉冲位置同步输出功能(PSO)
☑ 优化轨迹规划算法,实现最大的加工效率
☑ 采用EtherCAT通信网络,最大支持32轴
☑ 支持G代码控制
☑ 相机辅助自动定位,在线测量
适用于
切割、烧蚀、打标、焊接、打孔、划片等激光微加工工艺。
▶ 高精气浮转台
产品特点
☑ 中孔设计方便电缆或激光穿过
☑ 内置无刷直驱电机
☑ 结构紧凑,高刚性
☑ 扁平设计有助于降低系统高度,
最小化堆叠误差
☑ 超低速度波动
☑ 低轴向/径向端跳<100nm
☑ 重复定位精度可达±0.5arcsec
适用于
光学检测、晶圆检测、纳米技术设备制造、光学制造等
▶ XY高精气浮平台
该系列集成了气浮导轨、直线电机、高精度光学编码器、高柔屏蔽线缆等零部件。
产品特点
☑ 自产高刚性气浮导轨(专利技术)
☑ 300mm行程双向重复定位精度
<0.15(±0.075)μm
☑ 300mm行程平面度<±0.75μm
适用于
晶圆检测、单点钻石车削、激光微加工等
▶ 高速龙门
产品特点
☑ 高速高加速龙门结构
☑ 加速度可达3g
☑ 速度可达3m/s
☑ 行程 600*600mm
适用于
半导体贴片设备、微组装及测试等
▶ 磁弹簧配重Z轴
产品特点
☑ 使用交叉滚柱导轨
☑ 无铁芯直线电机
☑ 动磁铁结构设计,方便线缆管理
☑ 磁平衡Z轴模组,行程范围内稳定重力补偿
☑ 无需额外供电或压缩空气
☑ 高精度:重复定位精度±0.3μm,
直线度±2.0μm,平面度±2.5μm
适用于
精密激光加工、激光切割、光学调焦、晶圆检测、表面粗糙度检测等需要高精度的工业和科研项目。
▶ 振镜与平台联动系统
产品特点
☑ 振镜与平台联动,实现高效加工
☑ 振镜可补偿平台机误差,提升系统精度
☑ 支持PSO功能,提升加工质量
☑ 支持软件定制,提高系统易用性
适用于
医疗、消费电子、新能源、3C、半导体、航空航天等领域的切割、打标、打孔、焊接等激光微加工。
▶ AM微型平台(堆叠)
产品特点
☑ 采用直驱技术,使用防蠕动导轨
☑ 紧凑型可叠加结构设计
☑ AMG测角仪可叠加使用,实现围绕同一旋转中心的角度运动
适用于
半导体、光学、医疗及自动化领域。适用于光学组装与检测、光纤对准与优化、传感器测试和确认等应用场景。
▶ 激光振镜控制器
主控制器
振镜控制器
SGS GJm是一款基于EtherCAT工业以太网的双通道激光振镜控制器,控制器内部搭载ARM Cortex处理器及独立的FPGA硬件加速单元,具备强大的处理性能。
同时,控制器集成了特有的振镜控制算法以及激光控制算法,可以完成优异的激光振镜加工工艺。