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雅科贝思将亮相2023 Semicon China展会,届时,雅科贝思将展出多款半导体行业专用高精直驱产品及解决方案,如:ZTPR晶圆检测模块、ADR-H系列高速力矩电机、高精气浮平台、真空电机等产品,诚邀各位莅临雅科贝思展位参观洽谈。
▶ ZTPR晶圆检测四轴ZT模块
PGS-ZTPR提供4个自由度的运动,在Z向提供4mm的对焦行程并可对Rx和Ry(Tip–Tilt)实现微调,T轴可实现超过200°的旋转。
产品特点
◇ 磁浮电机
◇ 柔性铰链导向
◇ 负载可达2.5kg
◇ 集成真空传感器,电磁阀和温度传感器
适用于
薄膜测量、OCD光学线宽测量等
▶ 高精气浮转台
产品特点
◇ 中孔设计方便电缆或激光穿过
◇ 内置无刷直驱电机
◇ 结构紧凑,高刚性
◇ 扁平设计有助于降低系统高度,
最小化堆叠误差
◇ 超低速度波动
◇ 低轴向/径向端跳<100nm
◇ 重复定位精度可达±0.5arcsec
适用于
光学检测、晶圆检测、纳米技术设备制造、光学制造等
▶ XY高精气浮平台
该系列集成了气浮导轨、直线电机、高精度光学编码器、高柔屏蔽线缆等零部件。
产品特点
◇ 自产高刚性气浮导轨(专利技术)
◇ 300mm行程双向重复定位精度
<0.15(±0.075)μm
◇ 300mm行程平面度<±0.75μm
适用于
晶圆检测、单点钻石车削、激光微加工等
▶ 分选机专用高速力矩电机
转塔式分选机尤其适用于小型片式半导体分立元件的打标、测试、分选和包装,是一种主转盘在中心,各个测试工位按照顺序均布在主电机周围的一种高速分选机,通常包含工位有16个和24个等多种型号。
产品特点
◇ 直驱无刷电机
◇ 低惯量设计,转动惯量低至0.0025kg·m2
◇ 重复定位精度可达±2arcsec
适用于
芯片焊接机、分选机等
▶ 真空直线电机
产品特点
◇ 低释气
◇ 真空兼容(RGA测试)
◇ 无铁芯技术
◇ 零齿槽力
◇ 高持续力和峰值力
◇ 持续力范围: 4.5N~769N
适用于
前道/后道晶圆搬运及检测设备、玻璃及液晶面板,生物医疗设备等有真空要求的场合
▶ 真空旋转电机(接受定制)
产品特点
◇ 低释气
◇ 高真空度10-7 torr
◇ 直驱无刷永磁电机
▶ 高速龙门
产品特点
◇ 高速高加速龙门结构
◇ 加速度可达3g
◇ 速度可达3m/s
◇ 行程 600*600mm
适用于
半导体贴片设备、微组装及测试等
▶ 龙门平台(运动控制和驱动)
产品特点
◇ 柔性龙门控制,搭配3D误差补偿
◇ 星型拓扑结构,实现8轴61μs的刷新频率
◇ CNC模式,支持G代码、M代码
▶ 主动隔振器
产品特点
◇ 减震器采用气囊实现被动隔振,由音圈电机实现主动减振
◇ 使用音圈电机快速响应,实现六自由度方向振动消除
◇ 主要配置:气浮模块、制动器模块、信号监控模块、控制器模块
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