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PI 产品 I V-308音圈PIFOC-高动态、长行程并具有重力补偿功能的新型垂直定位系统

时间:2021-04-28 17:40:42来源:普爱纳米位移技术(上海)有限公司

导语:从基因组测序到多光子荧光显微镜、深层组织检查、激光材料加工和晶圆检验,再到研究中的磁性镊子……显微镜学和工业中的众多应用中均需要具有长行程、高动态和高精度的垂直定位系统。现在,PI凭借全新的V-308音圈PIFOC,提供可满足所有这些要求的基于磁性直接驱动器的解决方案。

  对中心传感器进行光学聚焦、扫描或高度调整

普爱纳米

  从基因组测序到多光子荧光显微镜、深层组织检查、激光材料加工和晶圆检验,再到研究中的磁性镊子……显微镜学和工业中的众多应用中均需要具有长行程、高动态和高精度的垂直定位系统。现在,PI凭借全新的V-308音圈PIFOC,提供可满足所有这些要求的基于磁性直接驱动器的解决方案。

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  全新的V-308音圈PIFOC作为模块化平台提供,其中包括合适的电子器件(此处为C-414控制器)、用于安装在光学工作台上的接装板、物镜支架和转接环。

V-308 PIFOC的核心元件是一个单轴滑块,其基体上装有高精度横向交叉滚柱导轨。该滑块由专为实现高动态而开发的居中PIMag音圈电机驱动。用户可以通过可调硬挡块来限制7毫米长行程的上下两个方向。加速度高达8米/平方秒,最大速度为200毫米/秒。这使得±15纳米误差带内的100纳米和250纳米步长的步进和稳定时间低于15毫秒。因此,可以实现聚焦单元非常快速的定位、非常快速的数据采集和高生产率。

高分辨率光学PIOne线性编码器用于实现所要求的高精度。可以实现10纳米的最小位移和25纳米的双向重复精度(在100纳米行程下)。

磁重力补偿

磁重力补偿是新型V-308 PIFOC的一项独特功能。这确保了滑块和装好的负载会在无电源的情况下悬浮,因此可以防止在断电或关闭控制器时发生失控的坠毁事故。为了灵活地使用该轴(例如切换物镜时),用户可以调整反作用力并补偿高达1千克的总负载(物镜和支架)。因此即使垂直使用,该轴也可以用作水平轴。

紧凑的设计和多功能的配件,易于集成

驱动器尺寸为87 x 77 x 30毫米(高/宽/深),结构非常紧凑。接装板可确保以公制或英制安装孔布局安装在光学工作台或板上。提供两种不同的物镜支架(分别用于垂直或水平安装)以及一组用于不同直径物镜的转接环(规格高达M32 x 0.75)。

作为标配,V-308 PIFOC装有专门开发的C-414控制器。此外,也可以使用具有内置EtherCAT功能的ACS控制器来操作该轴。用户可以主动控制伺服控制参数(“增益调度”),再加上诸如ServoBoost之类的其他ACS功能,可进一步提高性能。


标签: 普爱纳米传感器

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