半导体设备国产化创新之作 ——水星运控平台

文:文 / 深圳市克洛诺斯科技有限公司2024年第六期

导语:深圳市克洛诺斯科技有限公司(以下:简称克洛诺斯科技),作为一家有着16年直线电机精密运动平台经验的国产厂家, 主营产品为纳米级运功平台和微米级运动平台。克洛诺斯科技近期受邀北上参加第十二届半导体设备与核心部件展,携带了两款 前沿科技产品——35nm气浮运动平台与水星运控平台,受到了现场观众的高度好评。

  35nm气浮运动平台是克洛诺斯科技第三代气浮平台, 历经第一代500nm、第二代50nm升级而成,适用于晶圆光 刻、检测以及计量。该气浮平台采用龙门双驱结构,搭载压 力-真空空气轴承和超高精密编码器,动力部分采用无铁芯直线 电机降低波动,最大可对应300mm晶圆(也就是12寸晶圆)。

  水星运控平台与木星、天王星同列,属于克洛诺斯科技 恒星级高端运动平台,专为半导体高端制造设备国产化潜心 研发而成。满级的水星运控平台共有7个轴,XY轴+旋转轴+ 顶升轴+调平调焦轴+精动轴,可以实现上下前后左右旋转等 方位的精准位移,适用于半导体制造中的晶圆量检测,具体 的如叠片测量、关键尺寸量测、薄膜量测等。

  水星高端平台,国产时代来临

  众所周知,过去国产半导体设备的主力市场在于后端封 测,比如检测设备多为封装阶段的AOI视觉检测,而在半导 体前端制程中的量检测相对较少。究其原因,一是那时候工 艺技术还不成熟,硬件及软件都无法攻克;二是专业人才的 缺乏,无法有效定点突破;三是关键材料或零部件的“卡脖 子”,被动受制于人。如今经过几十年的沉淀,中国半导体 设备厂家不但积累了大量的人才与经验,还全面向半导体制 程各个方向突破,并取得了卓效成绩。

  成立于2015年的克洛诺斯科技,就是一家专注于精密 运动控制平台的技术型企业,在纳米运动控制与微米运动控 制领域有着一十六年的经验。水星运动控制平台,总行程达 475*410mm,可满足12寸及以下的晶圆量检测使用。水星 拥有极佳的动态性能,加速度达20m/s²,同时最高速度达到1.25m/s,定位精度高达±1μm,并拥有优异的双向重复 精度,可满足晶圆量检测设备的短行程短稳定需求。

  水星运控平台卡盘面带真空接口,还可选配导轨粉尘抽 吸功能、个性化信号以及压缩空气管等,可满足ISO2洁净等 级环境需求。为了进一步提升晶圆量检测UPH,克洛诺斯还 可为水星加装静音系列主动避震,在特定频率及工况下隔振 效果能达到95%以上,每移动10μm整定窗口±40nm时整定 时间就可控制在40ms内,并且位置稳定性在2KHZ时能达到 ±2nm,这意味着水星运动控制平台能极大程度上降低工作 时间,有效提升设备的UPH值。

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