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变频器在半导体制造厂的应用

2008-4-29 11:12:00　葛智豹　供稿

摘要：简述了变频器的工作原理和基本性能，并且对变频器应用和选型过程中的注意事项以及如何根据负载的性质来确定选用变频器的型号进行了较详细的说明。
关键词：变频器负载性质谐波抑制
Abstract：This paper briefly describes the working principle and fundamental performance of frequency converter，ales the atten—tion points in frequency converter application and type selection process，and how to select a proper frequency converter type according&nbs

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