提高实时调焦伺服系统性能的一种新方法—中国传动网

站内搜索

瑞士瑞诺上海代表处

企业库 ┆ 产品中心 ┆ 新闻中心 ┆ 商业机会 ┆ 技术中心 ┆ 下载中心 ┆ 展会 ┆ 媒体 ┆ 人才中心 ┆ 论坛 ┆ 博客 ┆ 帮助

走进企业 ┆ 地区检索 ┆ 产品分类 ┆ 推荐企业 ┆ 厂商类型 ┆ 入网厂商

新品推荐 ┆ 入网产品

专题报道 ┆ 人物专访 ┆ 译文专区 ┆ 业界动态 ┆ 行业动态 ┆ 展会新闻

供求信息 ┆ 库存特价 ┆ 推荐代理 ┆ 合作机会 ┆ 优质供应商

专业论文 ┆ 典型应用 ┆ 解决方案 ┆ 在线研讨 ┆ 专业图书 ┆ 精品课程

资料 ┆ 软件 ┆ 使用说明 ┆ 产品样本 ┆ 选型手册 ┆ 教程 ┆ 图纸 ┆ 驱动

传动展会 ┆ 行业展会 ┆ 展会动态 ┆ 展会回顾 ┆ 展会报道 ┆ 展会咨询

平面媒体 ┆ 网络媒体 ┆ 行业协会

即将举办 ┆ 已经举办 ┆ 资料下载 ┆ 分类点播┆ 按厂商点播 ┆ 按时间点播 ┆ 在线帮助

研究报告 ┆ 数据中心 ┆ 行业分析 ┆ 免费资料 ┆ 定制服务 ┆ 有奖调查

求职信息 ┆ 招聘信息

当前位置：首页 >> 技术中心 >> 论文集 >> 正文

提高实时调焦伺服系统性能的一种新方法

2008-3-22 14:02:00　熊木地，肖文礼，邢忠宝　供稿

摘要：对二元光学元件激光直写设备实时调焦伺服系统的要求与实现方法进行了较为全面的介介绍，并分析了影响调焦伺服系统性能的主要因素。提出了采用BP神经网络对离焦信号进行线性化处理，同时采用压电陶瓷作为执行元件，并进行动态非线性补偿；可大大提高调焦伺服系统的精度与带宽。同时，在线估算离焦信号的带宽，以此调节刻划的速度，可大大提高刻划的效率。
关链词：实时调焦；BP神经网络；线性化处理；动态非线性补偿；频带估算

1 引言
二元光学（衍射光学）元件的设计与制作是以波动光学为理论基础，以计算机为设计工具，以超精密加工、光刻和复制技术为主要加工手段的综合性技术前沿。目前，激光直写设备是制作二元光学元件的关键设备。但是用它制作衍射光学元件时，因装调和主轴的轴向跳动以及光刻胶的表面不光滑导致激光束的焦点偏离光刻面。为了保证加工质量，激光直写设备必须具有一套高性能的实时调焦伺服系统，使加工面始终处于焦深之内。为了提高设备的分辨率，光刻头显傲物镜的数值孔径不断增大，焦深范围很小，要求调焦的精度越来越高。随着刻划速度的提高，要求调焦伺服系统的频带加宽。因此，调

本文需登录阅览，请登陆:

用户名

密码

网站简介|会员服务|有奖调查|广告业务|联系方式|帮助信息|本站招聘|版权信息|法律声明

版权所有 © 2006-2008 传动网(ChuanDong.com) 最佳分辨率1024x768

粤ICP许可证05100281号经营许可证编号:粤B2-20060497