1 、非接触式测量：避免物件受损。

2 、三维表面测量：表面高度测量范围为  1nm ——-200μm。

3 、多重视野镜片：方便物镜的快速切换。

4 、纳米级分辨率：垂直分辨率可以达到0.1nm。

5、高速数字信号处理器：实现测量仅需要几秒钟。

6 、扫描仪：采用闭环控制系统。

7、工作台：气动装置、抗震、抗压。

8 、测量软件：基于windows 操作系统的用户界面，强大而快速的运算。