采用了 YASKAWA 直线电机,控制性能稳定 出厂时用 Laser Interferometer 检测,提供精度及直线度等检测数据
2005年一季度 Robostar 直线电机上市
简介:
直线电机的长行程适合大型尺寸玻璃的检查(玻璃尺寸 2,000*2,150mm) Dual type 3轴直线电机 速度 3m/s 精度 ±0.005mm