» 超精密位置控制功能 
      Resolution : 0.001mm以下，反复精度 : ±0.003mm以下，Lost Motion : 0.003mm以下  
    » 实现了超轻设计
      采用铝合金型材实现了轻重量  
    » 检测设备的革命
      半导体零部件、电子零部件、移动通信、医疗设备、质量检测设备等个领域中超精密检测设备的核心  
    » 光零件的光轴Driving unit of Optic axis of Optic parts  
    » Jigless 自动 Alignment unit  
    » 光学仪器的研究及应用  
    » 电子产品检测用 Chip Prober