瓷电机和光栅尺也可用于小的回转平台,提供精密回转运动和直接反馈及亚弧秒的分辨率。 无刷直线伺服电机 在小于50μm/s 速度下可提供平滑的运动,具有非凡的恒定速度, 大推力,最大速度可达500mm/s.