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资料名称: 大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究

名称: 大行程高精度两级定位工作台的控制方法研究
大小: 96.14KB
简介: 研究了具有宏微两级驱动歧定位工作台的控制技术,谊工作台采用直线电机进行大位移驱动,来保证较走的工作行程和较快的响应速度
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